中科九微科技有限公司（以下简称：中科九微）是由中国科学院微电子研究所和高端装备制造企业中科九微控股集团联合投资成立，公司注册资金10000万元，是国家高新技术企业、四川省5G+工业互联网标杆企业、四川省机械工业企业50强。公司主要从事半导体器件专用设备、泵及真空设备、电子元器件等设备的研发设计、生产制造、销售供应和售后保障。主要核心产品包括真空规、渐变式干式真空泵、磁悬浮分子泵、半导体芯片加工室、半导体系统集成模块等，产品广泛用于晶圆片生长、薄膜沉积、离子注入、刻蚀等半导体制造工艺60%以上制程。

公司产品完全自主设计，核心技术掌握在自己的手中。经过公司近年来的创新发展，加上集团公司20余年专业做真空系列产品的技术与工艺积累沉淀，以及公司股东中国科学院微电子研究所高起点切入研发此类产品，目前拥有“一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法”等在内的11项发明专利、“用于NC机床程序管理与监控系统平台V1.0”在内的2项软件著作权、“拥有真空规的捕集装置”在内的31项实用新型专利，其中近三年企业新申请发明专利18项，且各项知识产权均运用于产品中。公司现已掌握半导体真空部件的核心技术，主要产品真空规填补了国内空白，打破了依赖进口的局面。